主要功能：

低温高密度原子/分子束产生系统的主要功能是在真空环境中产生持续流动的低温、高密度原子/分子束（折合厚度在1E14-1E16原子/平方厘米之间），此种形态的样品可耐受极端条件的离子束轰击。 

服务内容：

在真空环境中产生持续流动的低温、高密度原子/分子束（折合厚度在1E14-1E16原子/平方厘米之间）

技术指标：

(1) 低温高密度原子/分子束源：产生低温、高密度的H2、He、CH4、N2等原子和分子束；原子/分子束的折合靶厚在1E14-1E16原子/平方厘米之间可调（折合靶厚通过进气量和真空泵组的抽气速度计算）； 

(2) 真空条件：靶室静态真空（不进气）好于1E-5 mbar；低温高密度原子/分子束源工作时（进气）靶室腔体真空好于5E-3 mbar。