主要功能：

用于射频超导腔、高纯铌、高纯钽等难溶金属、非金属的真空退火，具备高洁净度的特点，同时要求退火材料无剥落，无油，高洁净度。用于射频超导腔、镀膜腔体等真空腔体的电化学表面处理，可以应用电化学抛光、离子液抛光、电镀等工艺研究，系统使用聚四氟乙烯等抗腐蚀性能良好的材料建造，对浓硫酸、氢氟酸等强腐蚀性酸具备很好的防腐性能。 

服务内容：

1）真空退火服务：可以为高纯度铌材和钽材、难溶金属提供高真空高温退火服务，最高可以实现1600℃的退火。 

2）真空镀膜服务：采用蒸发扩散工艺对相应的工件提供

主要技术指标：

1) 额定加热容量350 KVA，其中侧区 3×90=270KVA，门区2×40=80KVA；

2) 最高允许加热温度1600℃；

3) 额定工作温度1450℃；

4) 均温区有效尺寸 φ1000×1500mm（L）

5) 加热器包容空间φ1150×1650L

6) 单炉最大承载量600 kg（含工件盘）

7) 温度均匀性≤±5℃（1000℃恒温时， 用测试架9 点检测）（温度控制采用智 能控温仪，自动控制，9 点工件温度可 采集储存） 8) 空炉升温时间1