技术指标：

1.发射源：肖特基发射体；

2.加速电压：0.5-30kV;

3.检测元素范围：Be-U;

4.二次电子分辨率：3nm；

5.最大照射电流：3μA；

6.放大倍数：40-400000；

应用：

1.材料学（陶瓷、合金、半导体）中的应用：微区化学成分分析，显微组织及超微尺寸材料的元素点线面分布情况。  

2.岩石、矿物方面的应用：通过化学分析可以有效地确定矿物中特定的元素成分，X射线衍射可以定性或者定量地给出矿物晶体结构方面的信息。