中国科学院近代物理研究所
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陶瓷内衬超薄壁极高真空室
陶瓷内衬超薄壁极高真空室
2019年06月真空进展
2019年6月,真空系统完成了全尺寸60°陶瓷内衬超薄壁极高真空室漏率及极限真空测试。
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