中国科学院近代物理公共技术中心安装了一台日本岛津生产的EPMA-8050G型电子探针。搭载了最尖端场发射电子光学系统，将岛津EPMA分析性能发挥到极致。从SEM观察条件到1 A量级，在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的尖端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至极致。目前，该仪器已运行实验并实施开放共享，欢迎有需要的的老师垂询并合作实验！
一、仪器特点
1.卓越的空间分辨率
电子探针可达到的最高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电 压30kV），分析条件下No.1的二次电子分辨率。（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1 A）
2.大束流更高灵敏度分析
不同束流下，对不锈钢中约1%左右Si进行面分析的结果※。束流越大，偏差越小，越能更加清楚的确认包含Si的范围。
※ 分析条件：加速电压10kV，积分时间50msec。分析花费时间约1小时。
3.分析方式多样
可进行点分析、线分析、面分析以及形貌观察。
4.配置五道谱仪
最大程度保证主元素分析外，还可满足轻元素Be、B、C、N、O、F等元素的分析测试。（4Be-92U）
分析速度快，不损伤样品。
5.定量分析准确度高
电子探针的检测极限（能检测到的元素最低浓度）一般为0.05 wt%，能做轻元素、“痕量元素”以及重叠峰存在时的分析。
二、主要技术指标
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参数 |
说明 |
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发射源 |
肖特基发射体 |
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检测元素范围 |
Be-U |
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加速电压 |
0.5--30kV |
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二次电子分辨率 |
3nm |
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最大照射电流 |
3uA |
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放大倍数 |
40-400000 |
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最大样品尺寸 |
30mm |
三、主要应用
材料学（陶瓷、合金、半导体）中的应用：微区化学成分分析，显微组织及超微尺寸材料的研究等。
岩石、矿物方面的应用：通过化学分析可以有效地确定矿物中特定的元素成分，X射线衍射可以定性或者定量地给出矿物晶体结构方面的信息。
微电子中的应用：如焊点，电路板中微量元素的偏析定量研究，开焊原因分析等。
四、联系方式
联系电话：周军军 15693315651
地址：甘肃省兰州市城关区南昌路509号
邮箱：zhoujunjun@impcas.ac.cn
